山東力冠微電子裝備

產(chǎn)品展示


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地址:濟南市槐蔭區濟南寬禁帶半導體產(chǎn)業(yè)園

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RTP快速退火設備

◆ 快速退火爐是利用紅外熱輻射實(shí)現快速加熱的一種半導體熱處理工藝設備,通過(guò)燈光輻射型熱源功率控制模塊裝置和專(zhuān)用燈組對位于工藝腔體的半導體硅片進(jìn)行快速加熱來(lái)實(shí)現穩定的升溫過(guò)程

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