日本半導體出口禁令波及中國 國產(chǎn)設備迎機遇

2023-07-18


5月23日,日本政府出臺半導體制造設備出口管制措施,將芯片制造設備等23個(gè)品類(lèi)列入出口管理的管制對象,新規將于7月23日正式生效。

經(jīng)濟觀(guān)察報 記者 沈怡然 5月23日,日本政府出臺半導體制造設備出口管制措施,將芯片制造設備等23個(gè)品類(lèi)列入出口管理的管制對象,新規將于7月23日正式生效。

時(shí)間還剩下兩個(gè)月。

5月31日,一位國內晶圓廠(chǎng)人士對記者稱(chēng),很多晶圓廠(chǎng)人士直到這次禁令才恍然意識到日系設備也藏著(zhù)巨大風(fēng)險。一直以來(lái)美國對半導體的禁令,導致業(yè)內在建廠(chǎng)時(shí)著(zhù)重評估美系設備的風(fēng)險,評估日系風(fēng)險的較少,甚至有人會(huì )加大由美系向日韓系設備的替換,包括從海外二手市場(chǎng)采購日系設備的動(dòng)作都在增加。

中國是世界最大的半導體市場(chǎng),也是日本半導體產(chǎn)業(yè)最大出口市場(chǎng),日本半導體優(yōu)勢在于生產(chǎn)設備和原材料,每年對華出口額超過(guò)100億美元。

相較于終端和芯片的設計,芯片制造是中國半導體產(chǎn)業(yè)的短板。日本企業(yè)(中國)研究院執行院長(cháng)陳言對記者表示,本次出口管制是日本在半導體領(lǐng)域最嚴格、最全面的一次。相比美國對中國實(shí)施的實(shí)體清單等出口管制措施,日本的措施更沖擊產(chǎn)業(yè)發(fā)展的根基,因為美國企業(yè)擅長(cháng)芯片設計及成品,而日本企業(yè)擅長(cháng)芯片的生產(chǎn)設備和原材料。

一位國內晶圓廠(chǎng)人士對記者表示,清單所涵蓋的23項半導體設備主要用于半導體的前道生產(chǎn),也就是在一個(gè)空白的硅片上完成電路加工的過(guò)程,后續封裝的工具不在此內;從設備的描述看出,都是日本企業(yè)最擅長(cháng)的部分,但并不涵蓋生產(chǎn)的所有,通常一條晶圓生產(chǎn)線(xiàn)需要半導體機臺約有上百種。

清單雖未明確說(shuō)明設備適用的制程節點(diǎn),記者從相關(guān)律師、晶圓廠(chǎng)人士處獲悉,但從具體設備的描述,以及從過(guò)往日本所限制的物項來(lái)看,指向的是先進(jìn)工藝半導體所需的設備。產(chǎn)業(yè)通常以14nm為分界線(xiàn),將芯片制造分為先進(jìn)和成熟兩種工藝,制程越小,工藝越先進(jìn)。

針對先進(jìn)半導體

本次有23個(gè)半導體相關(guān)品類(lèi)被列入管制對象,包含1項熱處理設備、3項清洗設備、4項光刻/曝光設備、3項刻蝕設備、1項測試設備和11項薄膜沉積設備。

公開(kāi)資料看,上述23類(lèi)設備中,光刻設備的生產(chǎn)以尼康和佳能為主,涂膠顯影設備和干法刻蝕設備、沉積設備以東京電子為主。

在設備方面,根據美國半導體產(chǎn)業(yè)調查公司VLSIResearch調研,2020年日本有7家企業(yè)被列為全球前15大半導體設備廠(chǎng)商。中國一直是日本半導體設備廠(chǎng)商重要收入來(lái)源地區。

群益證券分析,清單在光刻機方面限制ArFi及更先進(jìn)制程設備,其他設備整體對應工藝制程14nm及以下。中信證券分析,在受限的4項光刻設備中涉及EUV,EUV光刻機(僅荷蘭ASML提供)的采購國內長(cháng)期受限,所以日本限制的是EUV配套產(chǎn)品并沒(méi)有實(shí)質(zhì)影響。但同時(shí),ArF浸沒(méi)式光刻機日本尼康有相關(guān)產(chǎn)品也受到限制,未來(lái)需觀(guān)察許可實(shí)際發(fā)放情況。

上述晶圓廠(chǎng)人士稱(chēng),目前全國各地興建的晶圓廠(chǎng)至少有數百家,真正從事先進(jìn)半導體生產(chǎn)的并不多,目前看成熟工藝產(chǎn)線(xiàn)暫時(shí)不會(huì )受到影響,具備先進(jìn)工藝生產(chǎn)能力企業(yè)的擴產(chǎn)會(huì )受到一定影響,國內約有4-5家,每家企業(yè)有不止一條先進(jìn)半導體產(chǎn)線(xiàn)。

突破原有出口管制框架

日本一直在半導體領(lǐng)域實(shí)施出口管制政策,同時(shí)日本也是瓦森納安排的成員國之一,其半導體設備也需要遵守相應的出口管制的協(xié)調性安排。北京市環(huán)球律師事務(wù)所上海分所合伙人趙德銘表示,由于上述設備與裝置大部分尚沒(méi)有列入瓦森納安排項下兩用物項清單,例如多項薄膜沉積設備并不在該清單的第3類(lèi)“電子類(lèi)產(chǎn)品”項下,因而可以看出,這已經(jīng)完全突破了多邊瓦森納安排的框架,屬于單邊的、在經(jīng)濟上的戰略對抗。

本次管制措施并非專(zhuān)門(mén)針對中國,而是針對所有地區。趙德銘表示,實(shí)質(zhì)上日本與美國一樣有個(gè)出口管制國別清單,對于所謂的友好國家,免于申領(lǐng)許可證,對于其他國家(包括中國,日本針對中國實(shí)行軍品禁運政策),則需要出口許可,鑒于中國巨大的進(jìn)口需求,可以看出本次管制對中國的針對性很強。

趙表示,根據日本《外匯及外國貿易法》及其規定,違反相關(guān)出口管制規定,未經(jīng)許可出口管制物項或技術(shù),視情節嚴重程度,可能受到刑事處罰,行政處罰或者警告。

刑事處罰主要包括有期徒刑,公司最高可被罰款10億日元,個(gè)人最高可被罰款3000萬(wàn)日元。前述罰金少于違法物項的五倍的,按照五倍判罰;行政處罰是違法者可被禁止在3年內從事出口活動(dòng);另外,日本經(jīng)濟貿易產(chǎn)業(yè)省可在其認為合適的情況下對違法者發(fā)出公開(kāi)警告。

很多中企和日企是長(cháng)期采購關(guān)系,新規的管制范圍是否涵蓋過(guò)去已采購的設備及設備維護?

對此,趙德銘表示,新規本身并未明確這一問(wèn)題,但我們注意到有新聞曾透露更早之前美國、日本和荷蘭的三方半導體出口管制協(xié)議擬計劃將售后維修環(huán)節也納入管制范疇,即不允許為在規則生效前運往中國的產(chǎn)品提供維護服務(wù)。

趙德銘表示,從出口管制的監管邏輯上來(lái)看,出口管制的是管制物項(含商品、技術(shù)、軟件和服務(wù))的跨境轉移,在新的管制生效后,除非有例外規定,涉及管制物項的維護、維修服務(wù)等活動(dòng),在日本出口管制制度下可能構成管制技術(shù)出口而通常受到出口管制,不論所需維護的產(chǎn)品出口是否在先或者在后。但是,就具體的維修,日本廠(chǎng)家理論上可以申請許可證。申請是否成功得看日本政府的國際政策考量與具體政策把握,可能隨時(shí)發(fā)生變化。

但是也應該看到,日本與歐盟一樣,并沒(méi)有美國出口管制意義上嚴格的“再出口”管制以及對于在日本之外所生產(chǎn)的物項(外國生產(chǎn)物項)的管制,同時(shí)對于外國企業(yè)和個(gè)人,只有按照最終用戶(hù)黑名單制度。因此對于在華企業(yè)而言,對于日本原產(chǎn)的半導體物項,客觀(guān)上并不是全然沒(méi)有供應鏈渠道,只是渠道可能更加收窄。更為關(guān)鍵的問(wèn)題仍是物項進(jìn)口后的售后維護問(wèn)題,這將考驗各方的政治以及經(jīng)濟智慧。

陳言認為,本次出口管制會(huì )對中日兩國,乃至全球范圍的半導體產(chǎn)業(yè)形成長(cháng)期效應。日本半導體也遵循著(zhù)規模效應、長(cháng)回報周期的規律,失去一部分中國市場(chǎng),會(huì )減慢日企收回研發(fā)成本的速度,那么每一代設備投資都會(huì )拉長(cháng),技術(shù)革新速度也會(huì )減慢。

國產(chǎn)機遇

芯片制造是中國半導體產(chǎn)業(yè)的短板。制造又分為前道和后道環(huán)節,相比之下,中國在前道設備上的國產(chǎn)化進(jìn)程更弱,而本次受限的日系設備全部來(lái)自于前道環(huán)節。

東吳證券分析,收入口徑下,2022年11家半導體設備企業(yè)合計實(shí)現營(yíng)業(yè)收入376億元,同比增長(cháng)53%,對應半導體設備市場(chǎng)整體國產(chǎn)化率約22%。細分領(lǐng)域來(lái)看,國產(chǎn)半導體設備企業(yè)在清洗、熱處理、CMP、刻蝕設備等領(lǐng)域已取得一定市場(chǎng)份額。然而,對于光刻、測量/檢測、涂膠顯影、離子注入設備等領(lǐng)域,預估2022年國產(chǎn)化率仍低于10%,國產(chǎn)替代空間較大。

根據東吳證券數據,2022年國內的華虹無(wú)錫廠(chǎng)多款設備招標整體國產(chǎn)化率不足20%。其中清單上的薄膜沉積設備國產(chǎn)化率10%,檢測和量測設備2%,光刻和涂膠顯影設備為0。

但仍然有少數企業(yè)在該領(lǐng)域做出了成果。芯源微專(zhuān)注國產(chǎn)涂膠顯影設備,公司表示前道涂膠顯影設備已完成在晶圓加工環(huán)節28nm及以上工藝節點(diǎn)全覆蓋,并可持續向更高工藝等級迭代。

中微公司的刻蝕設備已經(jīng)做到5nm節點(diǎn)。北方華創(chuàng )的業(yè)務(wù)涵蓋多項清單內設備,包括刻蝕設備、薄膜沉積設備、熱處理設備、清洗設備。2022年公司電子工藝設備收入121億元,毛利率為37.7%,較上年提升4.7個(gè)百分點(diǎn)。

一位從事半導體耗材的人士對記者稱(chēng),禁令會(huì )在一定程度上加快國產(chǎn)替代的進(jìn)程,比如客戶(hù)會(huì )加強國貨的招標或者備選,提供一些機遇。但是相比芯片本身,芯片在設備和耗材上的國產(chǎn)替代其實(shí)是更艱難的過(guò)程,這里遵循贏(yíng)者通吃的產(chǎn)業(yè)規律,客戶(hù)生意是黏性很強的,很多本土晶圓廠(chǎng)多年來(lái)已經(jīng)和海外供應商已經(jīng)達成強綁定關(guān)系。

該人士稱(chēng),對于一家新供應商,客戶(hù)要承擔的風(fēng)險大于收益,產(chǎn)品需要不斷迭代,要花大量時(shí)間和資金去試錯,有的甚至提供研發(fā)經(jīng)費給供應商,所以后來(lái)者很難追趕。有些國產(chǎn)企業(yè)技術(shù)上達到了客戶(hù)標準,卻常年做備用品,最多也是小批量供貨,甚至很難得到試用機會(huì )。

國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì )預計,2024年全球晶圓廠(chǎng)設備支出約920億美元,同比增長(cháng)21%。上述晶圓廠(chǎng)人士稱(chēng),按照產(chǎn)業(yè)規律,明年晶圓廠(chǎng)會(huì )走入一個(gè)擴產(chǎn)周期,對半導體設備的需求也會(huì )增長(cháng)。外部的禁令會(huì )倒逼國貨發(fā)展,給予國產(chǎn)設備商更多機會(huì )進(jìn)入大廠(chǎng),但是由于產(chǎn)業(yè)本身的經(jīng)驗性和客戶(hù)黏性,更換設備商的過(guò)程,對晶圓廠(chǎng)和最終用戶(hù)來(lái)說(shuō)都是一個(gè)陣痛期。

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