立式爐

所屬分類：

擴(kuò)散/氧化/退火

概要：

該設(shè)備是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件等行業(yè)的磷/硼擴(kuò)散、氧化、退火、合金和燒結(jié)等工藝；主要用于初始氧化層、柵氧化層、場氧化層等多種氧化介質(zhì)層的制備工藝。

關(guān)鍵詞：

立式爐

立式爐

產(chǎn)品概述/Product Introduction：

♦ 該設(shè)備是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件等行業(yè)的磷/硼擴(kuò)散、氧化、退火、合金和燒結(jié)等工藝。

This equipment is one of the important process equipments in the front process of semiconductor production line,which is used for diffusion, oxidation, annealing, alloying and sintering in industries such as large-scale integrated circuits, discrete devices, power electronics, optoelectronic devices.

♦ 主要用于初始氧化層、柵氧化層、場氧化層等多種氧化介質(zhì)層的制備工藝。

Mainly used for the preparation of various oxidizingmedium layers such as initial oxidation,gate oxidtaion layer,field oxidation layer,etc.

產(chǎn)品特點/Product Characteristics：

♦ 高潔凈度：包括材料、工藝環(huán)境等

High cleanliness: including materials, process environment, etc

♦ 高精度：包括爐內(nèi)溫度、進(jìn)氣流量、排氣壓力、運動控制等

High precision: including furnace temperature, inlet flow, exhaust pressure, motion control, etc

♦ 高安全性：包括氣體泄漏檢測、氣流檢測、人機(jī)互鎖等

High safety: including gas leakage detection, airflow detection, man-machine interlocking, etc

♦ 晶片尺寸：6/8/12英寸

Wafer size: 6/8/12 inch

♦ 制程溫度范圍：300°C-1250°C