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SiC高溫氧化爐

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SiC高溫氧化爐

專用于硅-碳化合物(SiC）氧化處理，可實(shí)現(xiàn)SiC片高溫環(huán)境下完成高溫氧化工藝； 設(shè)備適用于SiC功率器件制造中的高溫氧化工藝環(huán)節(jié)； 加熱腔與工藝腔獨(dú)立密閉設(shè)計(jì)，提供工藝腔的潔凈度。

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